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Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm
Sujets
Informations
Publié par | Hermès - Editions Lavoisier |
Date de parution | 01 mai 2004 |
Nombre de lectures | 83 |
EAN13 | 9782746227071 |
Licence : | Tous droits réservés |
Langue | Français |
Poids de l'ouvrage | 8 Mo |
Informations légales : prix de location à la page 0,5250€. Cette information est donnée uniquement à titre indicatif conformément à la législation en vigueur.
Extrait